《高等學校工科電子類規(guī)劃教材:薄膜物理與技術》主要論述薄膜的制造技術與薄膜物理的基礎內容。書中系統(tǒng)介紹了各種成膜技術的基本原理與方法,包括蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜、離子鍍、化學氣相沉積、溶液制膜技術以及膜厚的測量與監(jiān)控等。同時介紹了薄膜的的形成,薄膜的結構與缺陷,薄膜的電學性質、力學性質、半導體特性、磁學性質以及超導性質等。論述中注重基本概念的闡述,敘述盡量深入淺出,并注意到原理與技術相聯(lián)系,理論與實踐相結合。《高等學校工科電子類規(guī)劃教材:薄膜物理與技術》為電子材料與元器件專業(yè)的規(guī)劃教材,亦可作為物理電子技術、半導體物理與器件、應用物理等專業(yè)的教材或教學參考書,同時亦可供從事電子元器件、混合集成電路的工程技術人員參考使用。