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大規(guī)模集成電路工廠潔凈技術

大規(guī)模集成電路工廠潔凈技術

定　價：￥24.00

作　者： （日）鈴木道夫等著；陳衡等譯
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 大規(guī)模集成電路 工廠 凈化
ISBN： 9787505306677 出版時間： 1990-09-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 522頁 字數(shù)：  

內容簡介

　　本書闡述了當前大規(guī)模集成電路生產工藝對潔凈技術的要求和今后發(fā)展方向、超級潔凈室的設計、施工技術問題和應采取的措施、輔助設施超純水、藥品、廢水處理和高純氣體等最新應用技術以及潔凈室運行管理問題。

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