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等離子體表面工程

等離子體表面工程

定　價：￥15.00

作　者： （德）E·布羅奇特等編；等離子體表面工程譯叢編譯委員會編譯；楊烈宇主編
出版社： 中國科學(xué)技術(shù)出版社
叢編項： 《等離子體表面工程》譯叢
標　簽： 等離子體應(yīng)用 金屬表面處理
ISBN： 9787504602879 出版時間： 1991-07-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 272頁 字數(shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書內(nèi)容包括等離子體技術(shù)的理論、PVD技術(shù)等和等離子體技術(shù)在摩擦領(lǐng)域、微電子學(xué)方面的應(yīng)用及等離子體技術(shù)在測試和表面分析方面的應(yīng)用。

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