微細(xì)加工技術(shù)

　　本書介紹了利用電子束、離子束、光子束、原子束、等離子體、超聲等手段，對不同材料進(jìn)行各種光刻、刻蝕、制膜、摻雜、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微細(xì)加工的原理、方法和工藝過程等。

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