本書討論以半導體激光器為光源的干涉理論及在幾何量測量中的應用技術,全書共八章。以半導體激光器體積小,重量輕、輸出光可調諧、易集成等優(yōu)點為基礎所形成的半導體激光干涉技術,為實現許多物理量的高精度、非接觸、在線測量提供可能。本書作為半導體激光干涉理論及其應用技術的系統(tǒng)總結,詳細介紹有關的理論基礎、可能出現問題的具體解決方法,詳細討論了利用各種輸出光調諧方式進行幾何量干涉測量的理論及技術。本書所討論的內容基本上反映了近年來該領域的主要成就,涉及到了幾何量測量的大部分內容,有廣泛的適用性,可以作為從事精密儀器、光學儀器以及其他儀器儀表研究、應用的專業(yè)技術人員的參考書,對從事機械制造、航天航空、電子工業(yè)等領域的有關人員也一定會有較大的幫助。