本書主要介紹了洗凈主體材料的基本性能,廠房凈化技術及原理,高純氣體制備,超純試劑的純化等內容;還著重論述了現(xiàn)有常用洗凈方法和技術,詳述了一些典型洗凈范例,尤其是電子行業(yè)的清洗。同時,也介紹了新型的清洗技術和方法。通過學習本書可以為掌握現(xiàn)有的洗凈技術和原理,并進一步優(yōu)化和創(chuàng)新新方法、新技術奠定良好的基礎。本書編寫過程中參考了大量國內外洗凈技術專業(yè)資料,著重基本概念的闡述,同時反映近年來洗凈技術領域的新技術、新成果??勺鳛楦叩仍盒O嚓P專業(yè)教材,也可作為教師、研究生的專業(yè)參考書,還可供企業(yè)及科研單位的專業(yè)技術人員參考。