薄膜結(jié)構(gòu)X射線表征

序
前言
第一篇 基本實(shí)驗(yàn)裝置
第1章 X射線源與X射線探測
　　1.1 X射線源
　　1.2 X射線準(zhǔn)直和單色化
　　1.3 X射線探測器
　　參考文獻(xiàn)
　第2章 薄膜X射線衍射儀
　　2.1 高分辨共面X射線衍射儀
　　2.2 掠入射衍射裝置
　　2.3 測量分辨率的分析
　　參考文獻(xiàn)
　第3章 表面／界面X射線散射
　　3.1 固體表面／界面X射線反射和漫散射裝置
　　3.2 液體表面／界面X射線反射和散射裝置
　　參考文獻(xiàn)
第二篇 基本理論
　第4章 X射線衍射運(yùn)動學(xué)理論
　　4.1 引言
　　4.2 X射線衍射幾何
　　4.3 倒易點(diǎn)陣
　　4.4 X射線衍射強(qiáng)度
　　4.5 薄晶體衍射強(qiáng)度
　　參考文獻(xiàn)
　第5章 金屬多層膜的X射線衍射運(yùn)動學(xué)理論
　　5.1 成分混合／合金化的多層膜
　　5.2 [A／B]N多層膜
　　參考文獻(xiàn)
　第6章 X射線衍射動力學(xué)理論(一)——完美晶體
　　6.1 引言
　　6.2 完美晶體中X射線波動方程
　　6.3 雙光束近似
　　6.4 色散面
　　6.5 勞厄幾何晶體內(nèi)波場振幅
　　6.6 布拉格幾何晶體內(nèi)波場振幅
　　6.7 雙軸晶衍射搖擺曲線的理論計算
　　參考文獻(xiàn)
　第7章 X射線衍射動力學(xué)理論(二)——畸變晶體
　　7.1 引言
　　7.2 晶體中的調(diào)制波
　　7.3 高木方程
　　7.4 高木方程的Taupin形式
　　7.5 多層膜結(jié)構(gòu)的X射線雙軸晶搖擺曲線計算
　　7.6 應(yīng)變弛豫超晶格的X射線雙軸晶搖擺曲線計算
　　參考文獻(xiàn)
　第8章 X射線異常衍射精細(xì)結(jié)構(gòu)理論
　　8.1 沒有周期調(diào)制的多層膜
　　8.2 [A／B]N多層膜
　　8.3 實(shí)驗(yàn)方法
　　8.4 DAFS譜線的分析方法
　　參考文獻(xiàn)
　第9章 X射線掠入射衍射理論
　　9.1 概述
　　9.2 X射線掠入射衍射準(zhǔn)運(yùn)動學(xué)理論
　　9.3 掠入射衍射的應(yīng)用
　　參考文獻(xiàn)
　第10章 X射線界面反射和漫散射理論
　　10.1 X射線鏡面反射
　　10.2 粗糙表面的散射(一)——玻恩近似
　　10.3 粗糙表面的散射(二)——DWBA理論
　　10.4 多層膜的DWBA散射理論
　　10.5 界面起伏的關(guān)聯(lián)函數(shù)
　　參考文獻(xiàn)
第三篇 薄膜微結(jié)構(gòu)表征
　第11章 單層膜和多層膜厚度
　　11.1 單層膜和多層膜共面X射線衍射
　　11.2 埋層的探測
　　參考文獻(xiàn)
　第12章 外延膜的晶格參數(shù)、應(yīng)力與組分
　　12.1 共面X射線雙軸晶衍射
　　12.2 薄膜殘余應(yīng)力檢測的X射線mapping技術(shù)
　　12.3 掠入射衍射
　　參考文獻(xiàn)
　第13章 薄膜表面與界面
　　13.1 X射線鏡面反射
　　13.2 X射線漫散射
　　13.3 X射線異常衍射精細(xì)結(jié)構(gòu)
　　參考文獻(xiàn)
　第14章 橫向調(diào)制結(jié)構(gòu)
　　14.1 表面柵格結(jié)構(gòu)
　　14.2 橫向成分調(diào)制結(jié)構(gòu)
　　14.3 量子線結(jié)構(gòu)
　　14.4 量子點(diǎn)結(jié)構(gòu)
　　14.5 原子有序結(jié)構(gòu)
　　參考文獻(xiàn)
　第15章 外延膜中的缺陷
　　15.1 倒易空間X射線散射強(qiáng)度分布
　　15.2 應(yīng)變弛豫
　　15.3 失配位錯
　　15.4 X射線反射形貌術(shù)
　　參考文獻(xiàn)
　第16章 軟物質(zhì)薄膜與界面
　　16.1 液體薄膜與界面
　　16.2 固／液界面的磷脂多層膜
　　16.3 表面活性劑多層膜
　　參考文獻(xiàn)