真空計量新技術

前言
第1章 真空計量基礎知識
1.1 真空的概念和測量單位
1.1.1 真空的概念
1.1.2 真空度及測量單位
1.2 真空區(qū)域的劃分
1.3 真空技術與真空計量
1.4 真空計量的物理基礎——氣體分子運動論
1.4.1 氣體分子運動論的基本原理
1.4.2 氣體的壓力
1.4.3 氣體分子的速率分布——麥克斯韋速率分布
1.4.4 氣體分子平均自由程
1.4.5 電子碰撞氣體引起的電離
1.4.6 分子從表面的反射——余弦定律
1.4.7 熱流逸現(xiàn)象
1.4.8 氣體在管道中的流動
1.4.9 氣體通過小孔的流動
1.4.10 用流導的計算
第2章 超高／極高真空測量技術
2.1 電離規(guī)的分類
2.2 熱陰極電離規(guī)（發(fā)射陰極電離規(guī)）
2.3 冷陰極電離規(guī)（交叉場電離規(guī)）
2.4 新型場致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.4.1 金屬微尖（陣列）場致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.4.2 碳納米管（陣列）場致發(fā)射陰極電離規(guī)
2.5 電離規(guī)的小型化
2.6 真空的激光電離測量技術
2.7 我國在UHV/XHV測量方面的研究進展
2.7.1 電離規(guī)的研制
2.7.2 電離規(guī)計量學特性研究
2.8 小結
第3章 靜態(tài)膨脹法真空標準校準下限延伸技術
3.1 研究現(xiàn)狀
3.2 校準下限的延伸方法
3.3 靜態(tài)膨脹法真空標準裝置的組成
3.4 校準方法
3.4.1 一級膨脹法
3.4.2 二級膨脹法
3.4.3 三級膨脹法
3.5 容積比的測量及不確定度評定
3.5.1 測量方法
3.5.2 測量結果
3.5.3 測量不確定度評定
3.6 性能測試
3.6.1 極限真空的獲得
3.6.2 非蒸散型吸氣劑泵抽氣特性的研究
3.6.3 靜態(tài)壓力變化的測試
3.6.4 分離規(guī)的校準
3.6.5 測量不確定度評定
3.7 小結
第4章 分流法超高／極高真空校準技術
4.1 研究現(xiàn)狀
4.2 分流法基本思想
4.3 分流法UHV/XHV校準裝置的組成
4.4 分流法校準原理
4.5 分流法UHV/XHV校準裝置的參數(shù)確定
4.5.1 容積的測量
4.5.2 氣體流量的測量
4.5.3 小孔流導c15的測量
4.5.4 小孔流導比Rc的測量
4.5.5 小孔流導c9的確定
4.5.6 返流比Rp的測量
4.6 分流法UHV/XHV校準裝置的性能測試
4.6.1 極限真空度測試
4.6.2 非蒸散型吸氣劑泵的抽氣特性
4.6.3 分離規(guī)的校準
4.6.4 冷陰極電離規(guī)的校準
4.6.5 測量不確定度評定
4.6.6 測量不確定度驗證
4.7 小結
第5章 轉換器型方向規(guī)及其校準技術
……
第6章 小型磁偏轉質譜計
第7章 固定流導法校準真空漏孔技術
第8章 恒壓法校準正壓漏孔技術
第9章 虛擬儀器在真空計量中的應用技術
參考文獻