微納米加工技術及其應用（第三版）

　　《微納米加工技術及其應用（第3版）》集作者多年來的實踐經驗與研究成果，并結合近年來國際上的最新發(fā)展，綜合介紹微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的復制技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術。對各種加工技術的介紹著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型工藝參數；充分分析各種技術的優(yōu)缺點及在應用過程中的注意事項；以大量圖表與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數學分析；并以專門一章介紹微納米加工技術在現(xiàn)代高新技術領域的應用，包括超大規(guī)模集成電路技術、納米電子技術、光電子技術、高密度磁存儲技術、微機電系統(tǒng)技術、生物芯片技術和納米技術。通過應用實例說明現(xiàn)代高新技術與微納米加工技術的不可分割的關系，并演示如何靈活應用微納米加工技術來推動這些領域的技術進步。與國內外同類出版物的相比，《微納米加工技術及其應用（第3版）》的顯著特點是將用于超大規(guī)模集成電路生產、用于微機電系統(tǒng)制造與用于納米技術研究的微納米加工技術綜合介紹，并加以比較。首次將微納米加工歸納為平面工藝、探針工藝和模型工藝三種主要類型，突出了微納米加工與傳統(tǒng)加工技術的不同之處。全書既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的最新進展，并列舉大量參考文獻與互聯(lián)網鏈接網址，供進一步發(fā)掘詳細信息與深入研究。因此不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經有一定工作經驗的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價值。

　　崔錚，東南大學（原南京工學院）本科畢業(yè)（1981年），并獲該校碩士（1984年）和博士（1988年）學位。1989年受英國科學與工程研究委員會訪問研究基金全額資助（SERC Visiting Fellowship），到英國劍橋大學微電子研究中心做博士后研究。1993年到英國盧瑟福國家實驗室微結構中心做高級研究員。1999年起任英國盧瑟福國家實驗室微結構中心首席科學家（Principal Scientist）以及微系統(tǒng)技術中心負責人（Group Leader）。在英國工作的20年中，先后參加和主持各種科研項目25項，其中l(wèi)O項為項目首席科學家。2004年當選為英國工程技術學會（IET）會士（Fellow）。先后獨立與合作發(fā)表學術論文190余篇。2005年出版中文專著《微納米加工技術及其應用》（高等教育出版社），2006年出版該書的英文版《Micro- Nanofabrication Technologies and Applications》（高等教育出版社，Springer），2008年出版英文專著《Nanofabrication：Principles. Capabilities and Limits》（Springer），2009年出版《微納米加工技術及其應用》（第二版）（高等教育出版社）。自1994年以來開始與國內開展合作，先后受聘為國內多家科研單位與大學的客座研究員、客座教授。2002年受聘為中國科學院海外評審專家。2004年獲中國科學院海外杰出學者（B類）基金。2007年參加中國科學院物理研究所納米電子材料與器件海外合作團隊。2009年9月入選中共中央組織部第二批“千人計劃”（創(chuàng)新類），10月全職回國到中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所工作，創(chuàng)立了國內首個印刷電子技術研究中心。2011年1月創(chuàng)立蘇州納格光電科技有限公司，致力于將印刷電子技術推向產業(yè)化。2012年3月，領銜印刷電子技術研究中心科研團隊集體編著了中國第一本印刷電子學方面的專著《印刷電子學：材料、技術及其應用》（高等教育出版社）。目前擔任中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所印刷電子學研究部主任。