中國電子信息工程科技發(fā)展研究：集成電路芯片制造工藝專題

　　在集成電路產(chǎn)業(yè)中，芯片制造技術是產(chǎn)業(yè)鏈中的核心環(huán)節(jié)之一?！吨袊娮有畔⒐こ炭萍及l(fā)展研究 集成電路芯片制造工藝專題》嘗試從芯片大生產(chǎn)制造的角度，介紹芯片制造關鍵單項工藝和工藝集成技術（與《中國電子信息工程科技發(fā)展研究：集成電路產(chǎn)業(yè)專題》銜接）。試圖以產(chǎn)業(yè)發(fā)展主流工藝為導向，側重原理和產(chǎn)業(yè)應用實際相結合，盡量避免冗長深奧的物理、化學公式和原理推導。定性地對芯片生產(chǎn)制造工藝中的關鍵單項工藝進行描述，并在介紹單項工藝后，解釋具有復雜系統(tǒng)工程特點的工藝集成技術難點。重點介紹芯片制造工藝中存在的五個主要挑戰(zhàn)和可能的解決途徑。最后討論芯片制造工藝產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)鏈的依賴關系。

暫缺《中國電子信息工程科技發(fā)展研究：集成電路芯片制造工藝專題》作者簡介