微納機(jī)電系統(tǒng)與微納傳感器技術(shù)

目錄
總序 i
前言 v
摘要 vii
Abstract xix
第一章 微納機(jī)電系統(tǒng)與微納傳感器的戰(zhàn)略地位 1
第二章 基于微納機(jī)電系統(tǒng)的光學(xué)傳感器及光電子芯片技術(shù) 5
第一節(jié) 光學(xué)MEMS技術(shù) 5
一、概述 5
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 11
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 19
四、資助機(jī)制與政策建議 21
第二節(jié) 集成生物光電子芯片技術(shù) 22
一、概述 22
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 24
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 27
四、資助機(jī)制與政策建議 52
參考文獻(xiàn) 55
第三章 基于微納機(jī)電系統(tǒng)的譜學(xué)分析傳感器技術(shù) 62
第一節(jié) 概述 62
一、譜學(xué)分析傳感器的定義與內(nèi)涵 62
二、譜學(xué)分析傳感器的發(fā)展動(dòng)力 63
第二節(jié) 發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 64
一、譜學(xué)分析傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀 64
二、譜學(xué)分析傳感器的發(fā)展態(tài)勢(shì) 86
第三節(jié) 發(fā)展思路與發(fā)展方向 88
一、譜學(xué)分析傳感器的關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題 88
二、譜學(xué)分析傳感器的發(fā)展總體思路和發(fā)展目標(biāo) 88
第四節(jié) 資助機(jī)制與政策建議 89
參考文獻(xiàn) 90
第四章 基于微納機(jī)電系統(tǒng)的生化傳感器與微流控芯片技術(shù) 95
第一節(jié) 微納生化傳感器技術(shù) 95
一、概述 95
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 97
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 108
四、資助機(jī)制與政策建議 110
第二節(jié) 微流控芯片技術(shù) 111
一、概述 111
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 114
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 127
四、資助機(jī)制與政策建議 131
參考文獻(xiàn) 133
第五章 基于微納機(jī)電系統(tǒng)的醫(yī)療傳感器技術(shù) 140
第一節(jié) 植入式神經(jīng)電極傳感技術(shù) 140
一、概述 140
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 141
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 148
四、資助機(jī)制與政策建議 148
第二節(jié) 中醫(yī)脈診與針灸針傳感微系統(tǒng) 149
一、概述 149
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 150
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 161
四、資助機(jī)制與政策建議 163
參考文獻(xiàn) 164
第六章 前沿微納機(jī)電系統(tǒng)技術(shù) 167
第一節(jié) 基于單芯片單面的微納加工技術(shù) 167
一、概述 167
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 169
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 175
四、資助機(jī)制與政策建議 176
第二節(jié) 應(yīng)用于汽車自動(dòng)駕駛技術(shù)的微納傳感器 177
一、概述 177
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 178
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 186
四、資助機(jī)制與政策建議 187
第三節(jié) 熒光傳感材料及器件 187
一、概述 187
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 188
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 201
四、資助機(jī)制與政策建議 204
第四節(jié) 基于金剛石材料的傳感器 205
一、概述 205
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 206
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 209
四、資助機(jī)制與政策建議 210
第五節(jié) 基于氮化鋁壓電薄膜的射頻FBAR211
一、概述 211
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 213
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 218
四、資助機(jī)制與政策建議 218
第六節(jié) 熔融石英的微球形陀螺 219
一、概述 219
二、發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展態(tài)勢(shì) 222
三、發(fā)展思路與發(fā)展方向 227
四、資助機(jī)制與政策建議 227
參考文獻(xiàn) 228
關(guān)鍵詞索引 235
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