集成光電子器件制造學(xué)教學(xué)案例

　　集成光電子器件以集成光電子技術(shù)為基礎(chǔ)，采用與集成電路（Integrated Circuit，IC）制造工藝完全兼容的工藝制造而成，具有光處理與傳輸功能的器件，是實現(xiàn)大容量、高速率信息傳輸?shù)年P(guān)鍵。“集成光電子器件制造學(xué)”是介紹支撐及引導(dǎo)光電子發(fā)展的基礎(chǔ)學(xué)科，本書是其配套學(xué)習(xí)教材，以案例示教，重在實操，鞏固理論學(xué)習(xí)和加深理解。本書共三篇13個案例，第1篇主要介紹典型無源和有源光電子器件/芯片的設(shè)計及其優(yōu)化，包括平面光波導(dǎo)設(shè)計及優(yōu)化、平面光波導(dǎo)分路器芯片設(shè)計及優(yōu)化、波分復(fù)用/解復(fù)用芯片和可調(diào)光衰減器設(shè)計及優(yōu)化；第2篇主要介紹集成光電子器件的制造技術(shù)，包括二氧化硅光子集成技術(shù)、絕緣襯上硅光子集成技術(shù)、磷化銦光子集成技術(shù)和絕緣襯上鈮酸鋰薄膜光子集成技術(shù)；第3篇主要介紹集成光電子器件封裝、測試與可靠性，包括光波導(dǎo)芯片與光纖端面耦合封裝、硅光子芯片與光纖垂直耦合封裝、半導(dǎo)體激光器芯片與光纖耦合封裝、硅基光電子器件異質(zhì)集成、無源光電子器件可靠性測試。

　　國家自然科學(xué)基金評審專家，Optik、Optical Fiber Technology等期刊審稿專家。主持和參與國家973項目3項、國家自科基金重點項目3項、國家自科基金項目2項、國家863計劃項目2項，其他省部級項目多項。發(fā)表學(xué)術(shù)論文60余篇，SCI收錄30余篇，EI收錄50余篇；申請發(fā)明專名40余項，授權(quán)20余項。獲省部級技術(shù)發(fā)明二等獎1項。